Ar 중성빔과 BCl₃ gas를 이용한 ZrO₂의 원자층 식각에 관한 연구

김이연; 임웅선; 박병재; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김이연 임웅선 박병재 염근영

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 및 에너지.공학 신표면처리기술 국제 워크숍

발행연도: 2009.5

수록면: 107 - 107 (1page)

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