Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구

김광석 ,  김범석 ,  이상율

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

Ti-43%Al-2%W-0.1%Si 합금의 고온산화

심웅식 ,  이동복

한국표면공학회지

2003 .04

Ti합금의 고온산화에 미치는 Fe와 Si의 영향

이동복 ,  박기범

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

후속열처리에 따른 AI/TiN/Ti/Si 전극의 전기적 특성

李鐵眞 ,  成萬永 ,  成英權

전기학회논문지

1996 .07

High Temperature Oxidation of Ti₃(Al,Si)C₂ Sintered Materials in Air

Thuan Dinh Nguyen ,  Dong-Bok Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

최적조건에서 형성된 TiN / Ti 구조의 Thermal Stability 에 관한 연구 ( Thermal Stability of Optimized TiN / Ti Barrier Metals with Al : 1%Si Overlayers and Si Substrates )

신두식 ,  오재응 ,  유성룡 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

열처리에 따른 TiN/Ti/Si 구조의 열적반응 및 산소원자의 거동에 관한 연구 ( The Thermal Reactin and Oxygen Behavior in the Annealed TiN/Ti/Si Structures )

류성룡 ,  신두식 ,  최진석 외 6명

전자공학회논문지-A

1992 .07

In-Situ 반응소결에 의한 전도성 $Si_3N_4$-TiN 복합세라믹스 제조

이병택 ,  윤여주 ,  박동수 외 1명

한국재료학회지

1999 .01

형성조건에 따른 TiN/Ti Barrier Metal의 Al 및 Si 과의 열적 안전성 ( Thermal Stability of TiN/Ti Barrier Metals with Al Overlayers and Si Substrates Modified under Different Annealing Histories )

신두식 ,  오재응 ,  류성룡 외 5명

전자공학회논문지-A

1993 .07

" Stuffed " Barrier Metal 형성조건에 따른 TiN / Ti 의 Al : 1%Si 및 Si 과의 열적 안정성 ( Thermal Stability of " Stuffed " TiN / Ti Diffusion Barriers Formed under Different Thermal History with Al : 1%Si Overlayers and Si Substrate )

신두식 ,  오재응 ,  유성룡 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

스퍼터링한 Ti의 질화에 의한 TiN 형성

박수진 ,  이근우 ,  권영호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조

박기철 ,  김기범

한국재료학회지

1995 .01

Ti/TiN 박막에서의 Ti interlayer 삽입에 의한 밀착력 향상에 관한 연구

김광석 ,  정재원 ,  이상율

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조

박기철 ,  김기범

한국재료학회지

1995 .01

Ti-Si-C, Ti-B-C 코팅막 내의 증착온도에 따른 미세구조와 기계적 물성 변화

허수정 ,  옥정태 ,  김광호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

TiN 이온 플레이팅한 강판의 내식성에 관한 연구(Ⅰ) : Ti 하지 코팅 및 TiN 코팅 두께의 영향

연윤모 ,  한전건 ,  김대진 외 1명

한국표면공학회지

1992 .02

Ti-39Al-10V 합금의 고온산화

장유동 ,  이동복

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05