Preparation of B-doped diamond using mode-conversion type microwave plasma CVD

Yukihi ,  o Sakamoto

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Microwave Plasma CVD로 제조한 다이아몬드 박막의Morphology에 관한 연구

박영수 ,  김성훈 ,  이조원

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

LOW TEMPERATURE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD

Yukihi ,  o SAKAMOTO ,  Matsufumi TAKAYA 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

EFFECT OF SUBSTRATE BIAS ON THE DIAMOND GROWTH USING MICROWAVE PLASMA CVD

Yukihi ,  o SAKAMOTO ,  Matsufumi TAKAYA

한국표면공학회지

1999 .06

RF플라즈마 CVD법에 의한 Diamond합성

박상현 ,  이덕출

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

Diamond Synthesis on HPHT Diamond Substrate Using Microwave Plasma CVD

Masataka Yoshiha ,  a ,  Yukihi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

마이크로파 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 결정배향성

신예식 ,  최성조

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1991 .10

Effects of Source Gas for Preparation of Carbon Nitride Using Microwave Plasma CVD

Masatoshi Inoue ,  Yukihi ,  o Sakamoto 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

THE EFFECT OF THE HIGH DENSITY PLASMA ON THE DIAMOND-LIKE CARBON FILMS

H. Kim ,  D.H. Jung ,  B. Pa 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

Effect of pulse frequency on carbon nitride synthesized using pulsed microwave plasma CVD

Ippei Tanaka ,  Yukihi ,  o Sakamoto

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Synthesis of Carbon Nitride Films by Dual Microwave Plasma Source CVD

Osamu Ikai ,  Takayoshi Kiguchi ,  Ma 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

FE Properties of Carbon Nitride Prepared by Microwave Plasma CVD

Shunichi ,  o Komizo ,  Yukihi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

ADHESION STRENGTH OF DIAMOND COATED WC-Co TOOLS USING MICROWAVE PLASMA CVD

Nobumichi KIYAMA ,  Yukihi ,  o SAKAMOTO 외 1명

한국표면공학회지

1996 .10

마이크로웨이브 플라즈마 CVD에 의한 나노결정질 다이아몬드 박막 성장 시 DC 바이어스 효과

김인섭 ,  강찬형

한국표면공학회지

2013 .02

고주파플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드상 탄소박막의 합성

朴相鉉 ,  李德出

전기학회논문지

1990 .10

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

Diamond Smooth Film Deposition by AC Discharged Plasma CVD

Sie-Young Choi ,  Byung-Ki Sohn

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1991 .08