D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향

김선규 ,  유정광 ,  이건환 외 1명

한국표면공학회지

1996 .08

D.C. 마그네트론 스파터링법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여

김선규 ,  유정광 ,  이건환 외 1명

한국표면공학회지

1997 .06

TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)

이종무 ,  권난영 ,  손재현 외 1명

한국재료학회지

1993 .01

이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

정재인 ,  박형국 ,  문종호 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구

이준우 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

표면전처리가 반응성 스퍼터링법으로 제조한 TiN 코팅층의 밀착력에 미치는 영향

김흥윤 ,  백운승 ,  권식철 외 1명

한국표면공학회지

1993 .10

이온빔 보조 증착에 의한 TiN 박막의 특성

김상현 ,  김대현

한국안광학회지

2004 .04

경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구

장승현 ,  양지훈 ,  박혜선 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성 ( Deposition and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

김동진 ,  정영배 ,  이명복 외 4명

전자공학회논문지-SD

2000 .06

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 ,  김주연 ,  서상원 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

DC마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 TiN박막의 밀착력과 내마모성에 관한 연구

유정광 ,  김선규 ,  이건환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1995 .10

Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구

김광석 ,  김범석 ,  이상율

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

TiN에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(II)

이종무 ,  권난영 ,  이종길

한국재료학회지

1993 .01

빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성

정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구

김영렬 ,  박용섭 ,  최원석 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

시분할 화학증착장치를 이용한 TiN 박막의 성장과 특성

이상수 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조

박기철 ,  김기범

한국재료학회지

1995 .01

TiN 박막의 탄소성 유한요소해석 ( Elastic-Plastic Finite Element Analysis of TiN Thin Film )

김정실 ,  김석삼

한국트라이볼로지학회 학술대회

2001 .11