Mechanical Properties of Al based AlCrN films synthesized by closed field unbalanced magnetron sputtering

GwangSeok Kim ,  SangYul Lee ,  JunHee Hahn

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

Closed-field unbalanced magnetron sputtering법에 의해 합성된 다이아몬드상 카본막의 구조 및 기계적 특성에 관한 연구

명현식 ,  박용섭 ,  홍병유 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

ANALYSIS OF THIN FILM POLYSILICON ON GLASS SYNTHESIZED BY MAGNETRON SPUTTERING

Min J. Jung ,  Yun M. Chung ,  Yong J. Lee 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

The Effect of Substrate Bias Voltage on the Adhesion Strength of CrZrN Films Synthesized by an Unbalanced Magnetron Sputtering System

Kyu-Sung Kim ,  Dong-Jun Kim ,  Jung-Hyun La 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

The Effect of Substrate Bias Voltage on the Adhesion Strength of CrZrN Films Synthesized by an Unbalanced Magnetron Sputtering System

Kyu-Sung Kim ,  Dong-Jun Kim ,  Jung-Hyun La 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

An optimized condition for corrosion protection of Type 304 Films prepared by unbalanced magnetron sputtering in 3.5% NaCl solution

Ji-Hong Yoo ,  Seung-Ho Ahn ,  Jung-Gu Kim 외 1명

한국표면공학회지

2001 .10

Effect of microstructure on mechanical properties of Ti-Al-N thin films synthesized by magnetron sputtering techniques

Young Dae Jo ,  Kwang Ho Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Kyung H. Nam ,  Jeon G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

Mechanical and Corrosion Properties of CrZrN films synthesized by closed field Unbalance Magnetron Sputtering

J. T. Kim ,  S. Y. Lee ,  J. H. Hahn

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

Microstructure and Oxidation Behavior of Nanostructured Ti.Si.B.C.N Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering

Hyundong Kim ,  Sungbo Heo ,  Kyeongsik Ha 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering

Young Seok Kim ,  Ki Seong Lim ,  Ki Buem Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

Low-pressure Ion Beam Assisted Magnetron Sputtering

Igo ,  Svadkovski ,  Eungsun Byon 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Role of Magnetic Field Configuration in a Performance of Extended Magnetron Sputtering System with a Cylindrical Cathode

Chun ,  Hui-Gon ,  Sochugov 외 10명

한국반도체장비학회지

2003 .01