티타늄 살리사이드 공정을 이용한 트랜지스터의 특성 및 오실레이터 I. C에의 적용 ( I ) ( Characteristic of Transistor Using Ti-SALICIDE Process and Its Application to Oscillator I. C ( I ) )

이상흥 ,  구경완 ,  홍봉식

전자공학회논문지-A

1991 .11

Ti 살리사이드 공정을 이용한 오실레이터 I . C의 성능향상 ( Improvement on Frequency Characteristic of Crystal Oscillator I . C Using Ti-Salicide Process )

이상흥 ,  구경완 ,  김보관 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

Ti-SALICIDE 공정과 활용 디바이스에 관한 연구 ( A Study on Ti-SALICIDE Process and Its Application to Device )

박용수 ,  이상흥 ,  구경완

한국통신학회 학술대회논문집

1992 .01

다결정 실리콘 기판 위에 형성된 나노급 니켈 코발트 복합살리사이드의 미세구조 분석

송오성

한국산학기술학회 논문지

2007 .04

반도체 습식 세정 공정중 SC1 세정 용액에 킬레이팅 에이전트 첨가에 의한 오염 입자와 금속 오염물 제거 효과

이승호 ,  이상호 ,  권태영 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

코발트 폴리사이드 게이트 전극 형성

심현상 ,  구본철 ,  배규식

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

금속세정공정의 청정기술 적용사례

정찬교 ,  구희준

청정기술

1997 .12

황산코발트용액(溶液)으로부터 초임계(超臨界CO에 의한 코발트 추출거동(抽出擧動)

신선명 ,  주성호 ,  손정수 외 1명

자원리싸이클링

2011 .01

戰略金屬 스크랩 資源化를 위한 코발트 物質흐름 現況調査

손정수 ,  양동효 ,  신선명 외 1명

자원리싸이클링

2005 .01

저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구

구희준 ,  고광진 ,  정찬교

청정기술

2001 .09

Extraction/Separation of Cobalt by Solvent Extraction: A Review

조성수 ,  이계호 ,  이찬기 외 1명

공업화학

2015 .01

레이저 충격파 세정공정의 해석

오부국 ,  이정욱 ,  김동식

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2006 .01

세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

코발트 중의 전자상태에 미치는 3-d 천이금속원소의 영향

배동수

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

습식 에칭 공정에서의 안전관리 자동화에 관한 연구

조재훈 ,  손영득 ,  위상봉

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .04

친환경 평판 디스플레이 세정을 위한 $CO_2$ Snow Jet 세정공정 개발에 관한 연구

정지현 ,  강봉균 ,  김민수 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

펄스식 극저온 CO₂ 세정공정의 공정변수에 따른 인자 최적화

이성훈 ,  이주홍 ,  김필기 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2008 .06

SADS 법으로 형성한 코발트 폴리사이드 게이트의 전기적 특성

정연실 ,  구본철 ,  김시중 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

10 nm 두께의 니켈 코발트 합금 박막으로부터 제조된니켈코발트 복합실리사이드의 미세구조 분석

송오성 ,  김상엽 ,  김종률

전기전자재료학회논문지

2007 .01