Etching Characteristics of Contact Holes with a Phase-Controlled Pulsed Inductively Coupled Plasma

신경섭 ,  강창진 ,  정철 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

플라즈마 질화 기술과 그 응용분야에 대한 소개

문경일 ,  변철웅

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2010 .11

펄스 플라즈마 시스템의 수치 모델링

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

플라즈마 실리콘 질화막의 전기적 특성에 관한 연구

주현성 ,  주승기

한국표면공학회지

1989 .12

펄스 플라즈마 반응기의 모델링

최영욱 ,  이홍식 ,  임근희 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

플라즈마 이온질화 공정온도에 따른 스테인리스강 질화층의 표면 특성

임경민 ,  김혜민 ,  이승효 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Plasma Properties by Pulsed Inductively Coupled Plasma Source using Dual Frequency

김태형 ,  김경남 ,  이승민 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

펄스플라즈마 반응기의 모델링에 의한 해석

崔永旭 ,  李弘植 ,  林根熙 외 3명

전기학회논문지 C

2000 .01

DC와 pulsed 마그네트론 방전 플라즈마에서 탐침 진단 및 플라즈마 수송 역학

서상훈 ,  인정환 ,  정민제 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

High Temperature Pulsed Plasma Flux 응용 금속 표면경화 공정기술 ( Surface Hardening Technology of the Metal by High Temperature Pulsed Plasma Flux )

권식철 ,  채병규 ,  이건환 외 1명

대한용접·접합학회지

2001 .08

Effect of pulse frequency on carbon nitride synthesized using pulsed microwave plasma CVD

Ippei Tanaka ,  Yukihi ,  o Sakamoto

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

S45C강의 고주기 피로특성에 미치는 플라즈마 질화처리의 영향

이인섭

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

공구강의 표면특성에 미치는 플라즈마 질화처리의 영향

이호종 ,  최한철

한국표면공학회지

2003 .04

($Ar+N_2$)분위기 중에 제작된 Fe-B-Si-N 합금 박막의 연자기적 성질

박지종 ,  김종오

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

중탄소 스프링강(S)의 피로특성에 미치는 플라즈마 질화처리의 영향

이인섭

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

중탄소 스프링강(P)의 피로특성에 미치는 플라즈마 질화처리의 영향

이인섭

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

초경합금의 플라즈마 질화처리에 의한 표면물성 변화

김기호

한국표면공학회지

1997 .06

펄스직류방전과 유도결합방전의 복합에 의한 SCM440강의 이온질화

김윤기

한국표면공학회지

2010 .04

MODIFICATION OF METAL MATERIALS BY HIGH TEMPERATURE PULSED PLASMA FLUXES IRRADIATION

Vladimi ,  L. Yakushin ,  Bo 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .05

Plasma Characteristics of (DF-ICP) Dual Frequency Inductively Coupled Pulsed Plasma Source

Jin. Seock. Seo ,  Kyung ,  Jun 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11