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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 추계학술대회 논문집
발행연도
2004.10
수록면
298 - 303 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

고진공 터보 분자 펌프용 자기베어링 시스템의 후방향 원추모드(Precession) 제어기 설계
배완성 ,  노승국 ,  박종권 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

2003

고진공용 터보 분자 펌프의 자기베어링 시스템 설계 연구
배완성 ,  노승국 ,  경진호 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2003.11 학술대회자료

초록· 키워드

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The active magnetic bearing system for a TMP consists of four couples of magnets, five gap sensors with its amplifiers and a digital PID controller. For stabilizing and providing damping, digital PID controller is applied for each 5 control axes and the inter-axis cross feedback controller is also applied to suppress low frequency vibration caused by gyroscopic moment of the rotor. Therefore in this paper, a digital controller of magnetic bearing for a TMP is design and examined.
#Turbomolecular pump(터보분자펌프) #cross feedback(교차궤환 제어)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제어시스템 설계
3. 실험 결과
4. 결론
참고문헌

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