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저자정보
배완성 (충남대학교) 노승국 (한국기계연구원) 경진호 (한국기계연구원) 박종권 (한국기계연구원) 홍준희 (충남대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집
발행연도
2003.11
수록면
192 - 197 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

고진공 터보 분자 펌프용 자기베어링 시스템의 후방향 원추모드(Precession) 제어기 설계
배완성 ,  노승국 ,  박종권 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

2003

고진공용 터보 분자 펌프의 자기베어링 시스템 설계 연구
배완성 ,  노승국 ,  경진호 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2003.11 학술대회자료

초록· 키워드

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An active magnetic bearing spindle system for TMP is designed and its some dynamic performances are investigated. The AMB system consists of four couples of magnets, five gap sensors with its amplifiers and a DSP controller. The dimensions of AMB elements are determined by magnetic circuit theory simulation and it own desired specifications. A decentralized direct feedback PID controller is utilized to control the dynamics of the magnetic bearings. The designed AMB spindle system is manufactured, and its dynamic characteristics such as its own stability and frequency response functions are investigated by simulation and verified by some experiments.
#Turbomolecular Pump(TMP #터보 분자 펌프) #Active Magnetic Bearing(능동 자기 베어링)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. TMP 자기베어링 시스템 설계
3. 제어시스템 시뮬레이션
4. TMP 자기 베어링 부상 실험
5. 결론
참고문헌

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