테마기획 진공 장비 : 터보형 고진공펌프의 기술 현황

황영규

기계저널

2000 .10

P-기법을 통한 터보분자펌프 로터의 형상 변화에 따른 구조해석

원보름 ,  한정삼

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .05

터보분자펌프의 성능해석에 관한 수치해석적 연구 ( A Numerical Study of the Performance of a Turbomolecular Pump )

허중식 ,  황영규

대한기계학회 춘추학술대회

1996 .01

터보분자펌프의 성능해석에 관한 수치해석적 연구 ( A Numerical Study of the Performance of a Turbomolecular Pump )

황영규 ,  허중식

대한기계학회 논문집 B권

1996 .11

펌프시스템 제어의 기초(1)

한국설비기술협회

냉동공조기술

1989 .01

펌프 시스템 제어의 기초(2)

한국설비기술협회

냉동공조기술

1989 .01

펌프시스템 제어의 기초(3)

한국설비기술협회

냉동공조기술

1989 .01

H _∞ 제어기에 의한 능동 자기 베어링 시스템의 강인한 제어계 설계

창유 ,  양주호

동력시스템공학회지

2003 .08

컴퓨터 시뮬레이션을 터보 분자 펌프 동작 특성 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

200RT급 터보냉매압축기용 자기베어링 개발

박철훈 ,  최상규

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2013 .11

터보부호와 터보등화기

하판봉

한국멀티미디어학회지

2000 .06

반도체 장비에서 터보 분자 펌프의 파손 사례 연구

정진용 ,  주정훈 ,  오삼균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

볼 베어링에서 발생하는 가진 베어링주파수 및 특성

정성원

소음·진동

2003 .06

초분자

박종승

고분자 과학과 기술

2012 .02

터보분자펌프의 블레이드 형상에 따른 구조해석

권기범 ,  원보름 ,  강현수 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .02

고진공 터보 분자 펌프용 자기베어링 시스템의 후방향 원추모드(Precession) 제어기 설계

배완성 ,  노승국 ,  박종권 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

초고속 자기부상형 터보복합분자 펌프 기술 개발

박용태 ,  노승국 ,  김인찬 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .06

터보분자펌프의 회전체 동해석

한정삼

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2011 .10

α-터보차져엔진 개발

이현순

한국자동차공학회 학술강연 초록집

1992 .04

능동자기베어링시스템의 디지털제어

박영진 ,  김승철 ,  정성종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1995 .11