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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
원보름 (안동대학교) 정해영 (대주기계) 한정삼 (안동대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제37권 제10호
발행연도
2013.10
수록면
1,279 - 1,289 (11page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2013

P-기법을 이용한 터보분자펌프 로터의 구조해석 및 형상최적설계
원보름 ,  정해영 ,  한정삼 대한기계학회 논문집 A권 2013.10 학술저널

2012

P-기법을 이용한 터보분자펌프 로터의 구조해석 및 형상최적설계
원보름 ,  강현수 ,  한정삼 대한기계학회 춘추학술대회 2012.11 학술대회자료
P-기법을 통한 터보분자펌프 로터의 형상 변화에 따른 구조해석
원보름 ,  한정삼 대한기계학회 춘추학술대회 2012.05 학술대회자료

초록· 키워드

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터보분자펌프는 회전하는 로터 블레이드의 고속회전을 통해 진공을 생성하는 고진공, 고청정 펌프로 로터의 고속회전에 따른 구조적 안전성이 우선 평가되어야 한다. 본 논문에서는 터보분자펌프의 배기성능 및 구조적 안전성에 영향을 미치는 인자 중에서 블레이드 각도, 길이, 블레이드가 시작되는 부분의 라운드 크기, 회전속도를 선정하여 그들의 변화에 대한 변위 및 응력 응답을 관찰하는 민감도 평가 및 최적설계를 수행하였다. 일반적인 유한요소해석기법인 H-기법이 아닌 형상요소해석기법인 P-기법을 사용함으로써 복잡한 형상의 유한요소생성 모델링 시간을 단축시켜 해석의 효율성을 높일 수 있었다.
#Turbomolecular Pump(터보분자펌프) #P-method(P-기법) #Rotor Blade(로터 블레이드) #Structural Analysis(구조해석) #Optimum Design(최적설계)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. TMP 의 구조해석 및 최적설계
3. P-기법을 이용한 구조해석
4. 최적설계
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (22)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 강상백 / 2010 / 터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 고찰 / 한국진공학회지 19 (4) : 249 ~ 255 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - Lee, W. Y / 2002 / Analysis for Design of a High Vacuum Turbomolecular Pump / Jounal of the Korean Society of Semiconductor Equipment Technology 1 (1) : 41 ~ 45 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Henning, J / 1988 / Thirty years of turbomolecular pumps: A review and recent developments / Journal of Vacuum Science & Technology A 6 (3) : 1196 ~ 1201 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - In, S. R / 2000 / Quasi-quantitative estimation on backstreaming characteristics of a turbomolecular pump / Korea Atomic Energy Research Institute 10 (1) : 1 ~ 8 google schola 5. [학술대회논문] - Cho, S. R / 2004 / Magnetic Bearing System for Turbo-Molecular / Trans. Korean Soc. Mech. Eng : 760 ~ 765 google schola

이 논문의 저자 정보

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