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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2007.6
수록면
228 - 232 (5page)

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In this paper, we present a method of non-contact 3-D profile measurement to obtain the xyz-coordinates of precision optical components like free-form surface lens and mirrors ,which have been used on a technology-intensive industry. This method of surface profile measurement is using curvature sensor which measures the local curvature under test by using White-light scanning interferometry. The measurement results proved that the proposed method is well suited for the free-form surface.
#profile measurement(형상측정) #White-light scanning interferometry(백색광 간섭계) #curvature(곡률) #precision measurement(정밀측정)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 측정 원리
3. 측정 시스템 및 결과
4. 결론
참고문헌

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