광간섭법을 이용한 정밀 위치측정 시스템 설계

김진상; 정성종

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김진상 정성종

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 97年度春季學術大會論文集

발행연도: 1997.5

수록면: 145 - 149 (5page)

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