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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.1
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 85 - 91 (7page)
이용수
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White light scanning interferometry has gotten a firm position in 3D surface profile measuring field. Recently, the LCD industry gave a chance for this technology to enter into real industry fields. It is known that white-light phase￢shifting algorithm give a best resolution compare to other algorithms, but there are some problems to be resolved. One of them is 300㎚ jump in height profile, called bat-wing effect. The main reason of this problem is an ambiguity of phase￢peak detection algorithm, and some solution has been proposed, but it didn't work perfectly. In this paper, I will show the cases when these effects are occurred, and these height discrepancies will be almost disappeared when broad-band illuminators are used.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 간섭 신호 분석
3. 조명광의 특성에 따른 위상 정점 모호성
4. 실험
5. 결론
후기
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