나노스테이지의 응답성 향상을 위한 시뮬레이션 및 비선형 적용제어에 관한 연구

김재열; 곽남수; 한재호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김재열 곽남수 한재호

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2007.11

수록면: 481 - 482 (2page)

이용수

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#Nano-stage #Flexure hinge #Simulation #Real-time control #Piezo electric actuator

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