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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
3 - 8 (6page)

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Generally, the integrated system using ion beam consists of 4 major parts, which are SEM, FIB, nano stage, and chamber. FE models are built to perform modal analyses of each part and the whole integrated system with a commercial program. Through these analyses, it is found that each part and the integrated system are very safe against of vibrations including external excitations from ground and any others, because their natural frequencies are much larger than frequencies of external excitations. Also, isolation of ground induced vibration is considered.
#Integrated system #SEM #FIB #Chamber #Modal analysis #Ground induced vibration

목차

Abstract
1. 서론
2. 각 단품의 모달 해석 및 결과
3. 통합 시스템의 모달 해석 및 결과
4. 통합 시스템의 방진대책
5. 결론
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