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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
489 - 490 (2page)

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To establish fabrication techniques for nano structure understanding of focused ion beam (FIB) milling process is required. In this study the mathematical model containing the factors related to FIB milling is developed to acquire the optimal fabric ... 전체 초록 보기
#FIB Milling(집속이온빔 밀링) #Nano Pattern(나노 패턴) #Simulation(시뮬레이션)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 집속이온빔 밀링 모델
3. 결과
4. 결론
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