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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.16 No.3
발행연도
2007.6
수록면
88 - 95 (8page)

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Generally, the integrated system using ion beam consists of 4 major parts, which are SEM, FIB, nano stage, and chamber. Among them, the nano stage and the chamber are designed and manufactured. The whole systems are integrated. Also, FE models are built to perform modal analyses of each part and the whole integrated system with a commercial program. Through these analyses, it is found that each part and the integrated system are very safe against vibrations including external excitations from ground and any others, because their natural frequencies are much larger than frequencies of external excitations. Also, isolation of ground induced vibration is considered.
#Integrated System(통합시스템) #SEM #FIB #Chamber(챔버) #Modal Analysis(모드해석) #Ground Induced Vibration(지반진동))

목차

Abstract
1. 서론
2. 각 단품의 모드 해석 및 결과
3. 통합 시스템의 모드 해석 및 결과
4. 복합 가공기의 제작
5. 통합 시스템의 방진대책
6. 결론
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참고문헌

참고문헌 (9)

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Nalwa, H. S. , 2004 , Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology , American Scientific Publishers google schola Busnaina, A. , 2001 , Micro & Nanoscale Defects in Micro & Nanofabrication , ASME international google schola Lee, R. E. , 1993 , Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis , Prentice Hall google schola Hawkes, P. W. , 1982 , Magnetic Electron Lenses , Springer google schola Munro, E. , 1997 , Electron and Ion Optical Design Software for integrated Circuit Manufacturing Equipment , Journal of Vac. Sci. Technol. B 15 (6) : 2692 ~ 2791 google schola

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