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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.10
수록면
14 - 19 (6page)

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The progress in nanotechnology necessitates the development of novel tools for manufacturing nanodevices. In this study, the structural integrated system of FIB and FE-SEM and Nano-stage is designed to satisfy the constrains in the precise nano-device requirements based on the static and dynamic analysis.
Static features of structures were investigated according to the gravity center and static deflection of the 4 kinds of models. Dynamic features of structures were also investigated on the modal analysis which is analyzed by the dynamic characteristics with various natural frequency domain and mode shapes. The results of analyzed features were correlated with the nano-scale affect of system.
#FIB #FE-SEM #Nano-stage #Integrated Complex System #Static and Dynamic Analysis #Modal Analysis

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석을 위한 기본 조건 및 모델링
3. 통합 시스템의 무게중심
4. 통합 시스템의 정적 해석
5. 통합 시스템의 모달 해석
6. 결론
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