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SiOC 박막의 허용 가능한 유전상수 설정에 대한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2010 .09
SiOC 박막의 화학적 특성과 전기적인 특성에 대한 차이점에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2009 .01
절연박막에서 유전상수의 보상에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2009 .11
유전상수가 낮아지는 원인과 이온 분극의 효과
Applied Science and Convergence Technology
2009 .11
Cu diffusion behavior in SiOC(-H) films with annealed Cu/SiOC(-H)/ p-Si(100)/Al metal-insulator-semiconductor (MIS) structures
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
AZO 투명전극의 결정성과 광학적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2012 .07
Electric field induced second harmonic generation in SiOC(-H) thin films
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
TCPCVD방법에 의해 형성된 SIOC(-H)박막의 형성과 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
Interface characterization and current conduction in low-k SiOC(-H) thin films
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
The study of post annealing effects on low dielectric constant SiOC films
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
A Study on the Characteristics of Low Dielectric Constant SiOC(-H) Films Deposited with Various Substrate Temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
열처리에 따른 Y₂O₃ 박막의 미세구조와 전기적 특성 변화에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
A Study for Properties of SiOC(-H) Thin Films with Low-κ Formed by UV-Assisted PECVD Method
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Evaluation of ultra low dielectric constant SiOC(-H) thin films for advanced interconnects
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Plasma parameters of the low dielectric constant SiOC(-H) thin films during the PECVD process
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Electrical properties of u/TaN/SiOC(-H)/p-Si(100) low- k dielectric stack
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
굴절률에 의한 유전상수와 전자에 의한 분극에 대한 상관성
Applied Science and Convergence Technology
2009 .01
열처리 효과가 ZnO 박막의 특성 변화에 미치는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
An investigation of ultra low dielectric constant SiOC(-H) thin films for interconnect technology : Understanding the requirements
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
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