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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.7
- 수록면
- 212 - 218 (7page)
이용수
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RF 마그네트론 스퍼터에 의해 만들어진 AZO 박막을 기판의 화학적 특성에 따른 광학적 특성에 대하여 조사하였다. 기판은 ICP-CVD방법으로 제작된 SiOC 박막으로 화학적 특성의 변화를 관찰하기 위해서 산소와 아르곤(DMDMOS)가스의 유량비를 다르게 하여 증착하였다. 아르곤의 유량이 증가할수록 Si-O 결합이 증가하였으며, 비정질구조가 증가되었다. 비정질도가 높은 SiOC 박막 위에 성장된 AZO 박막의 거칠기는 감소하였으며, 표면의 평탄도가 개선되었다. 더불어 비정질도가 높은 SiOC 박막 위에 성장된 AZO 박막에서 자외선 영역의 방사 강도가 제일 높았다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 김민수 / 2011 / Thickness Dependence of Properties of ZnO Thin Films on Porous Silicon Grown by Plasma-assisted Molecular Beam Epitaxy / Journal of the Korean Physical Society 59 (3) : 2354 ~ 2361
2. [학술지(정기간행물)] - Tae Eun PARK / 2004 / Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering on Si Substrates / Journal of the Korean Physical Society 45 (3) : 697 ~ 700
3. [학술지(정기간행물)] - J. Heo / 2007 / / Thin Solid Films 515 : 5035 ~
4. [학술지(정기간행물)] - C. H. Ahn / 2009 / / Appl. Phys. Lett 105 : 013502 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Y. Kanemitsu / 1994 / / Phys. Rev. B 49 : 14732 ~
2. [학술지(정기간행물)] - Tae Eun PARK / 2004 / Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering on Si Substrates / Journal of the Korean Physical Society 45 (3) : 697 ~ 700
3. [학술지(정기간행물)] - J. Heo / 2007 / / Thin Solid Films 515 : 5035 ~
4. [학술지(정기간행물)] - C. H. Ahn / 2009 / / Appl. Phys. Lett 105 : 013502 ~
5. [학술지(정기간행물)] - Y. Kanemitsu / 1994 / / Phys. Rev. B 49 : 14732 ~
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