비대칭 마그네트론 스퍼터링방법을 이용한 초미세 탄소 박막 합성

김성일; 이호영; 한전건

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김성일 이호영 한전건

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 253 - 253 (1page)

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김성일

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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이호영

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 자연과학 > 물리학

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한전건

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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