RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O₅ 박막의 광학적 특성평가

이병우 ,  김태훈 ,  김하술

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 SnS 박막의 특성 연구

정운환 ,  박재홍 ,  강소영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성

김덕규

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 FeSu₂ 박막의 기판 온도에 따른 영향

안태현 ,  정운환 ,  박혜진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구

윤동민 ,  김유관 ,  김진아 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 BiFeO₃-CoFe₂O₄ 나노복합체 박막의 자성 연구

김태철 ,  이승한 ,  정재은 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2017 .05

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이산화티타늄 박막의 표면 및 광학적 특성

이봉주 ,  윤연섭 ,  이명복

새물리

2020 .07

RF 마그네트론 CO-Sputtering 시스템을 이용하여 증착된 TiAlNX 박막의 최적 공정 및 박막 특성 연구

박창환 ,  권지선 ,  장부성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

3차원 입자-셀 시뮬레이션을 이용한 방위각 비대칭 자석을 사용한 마그네트론 스퍼터링 시뮬레이션

김철웅 ,  조영현 ,  이해준

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

EMF (electromagnetic field strength)가 스퍼터된 ITO 박막의 초기 성장에 미치는 영향

박소윤 ,  송풍근

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

스퍼터링 전력 변화에 따른 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성

양동환 ,  정운환 ,  박혜진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

2D PIC 시뮬레이션을 이용한 마그네트론 스퍼터링 증착 공정의 이온 특성 변화 분석 및 증착 모델링

박희성 ,  오세훈 ,  이해준

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Effect of H₂S Mixed Gas on the Properties of SnS Thin Films and Solar Cells Prepared by RF Magnetron Sputtering

이상운 ,  이승곤 ,  신동혁 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Characteristics of ZnS Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering at Room Temperature for Buffer Layer Application in Thin Film Solar Cells

김준아 ,  박정환 ,  한태구 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성

변자영 ,  송풍근

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

스퍼터 장치로 제조된 나노다층박막의 미세구조 특성

유광춘 ,  이원범

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

전자빔 조사에 따른 In2O3/Ti 박막의 특성 변화

전재현 ,  공태경 ,  김선광 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

마그네트론 스퍼터링에 의한 갈륨 합금 타깃의 조성 변화 특성

윤회진 ,  이승윤

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

스퍼터링법으로 증착한 SnS 박막 태양전지의 효율 개선

신상수 ,  정운환 ,  김서한 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

RF 스퍼터링의 증착 파워에 따른 MgZnO 박막 특성 연구

최준영 ,  김진용 ,  김현아 외 4명

새물리

2019 .04