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학술대회자료
저자정보
문장원 (한국기계연구원) 나종주 (한국기계연구원) 권식철 (한국기계연구원) 변응선 (한국기계연구원) 이성훈 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제35회 하계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.8
수록면
290 - 290 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

r.f 마그네트론 스퍼터링에서의 BN film의 합성 인자에 대한 고찰
문장원 ,  나종주 ,  권식철 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

2007

Evaluation of c-BN, h-BN films synthesized by r.f unbalanced magnetron sputtering on substrate bias voltage
문장원 ,  나종주 ,  이인섭 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

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