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플라즈마트론에 의한 실리콘의 texturing 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
O₂/N₂ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
식각공정 안정화를 위한 내플라즈마성 코팅부품의 신뢰성 평가방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
펄스 직류 전원 플라즈마를 이용한 갈륨비소와 갈륨알루미늄비소 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 식각공정에서 Radial Basis Function Neural Network Model를 이용한 식각 종료점 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 증착 및 식각공정의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
저진공 펄스 직류 전원 BCl3/SF6 플라즈마를 이용한 GaAs/Al0.2Ga0.8As 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
음극 아크점 크기 예측을 위한 비이송식 아크 플라즈마 토치의 전산해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
펄스 직류 전원 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
자유연소아크 시스템에서 아크-전극 결합 모델의 3차원 수치해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
펄스 직류 BCl₃ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
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