지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
플라즈마 식각 공정 챔버내의 부품 식각률 감소를 위한 전처리 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 식각공정에서 Radial Basis Function Neural Network Model를 이용한 식각 종료점 검출
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
플라즈마 증착 및 식각공정의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
저진공 펄스 직류 전원 BCl3/SF6 플라즈마를 이용한 GaAs/Al0.2Ga0.8As 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
식각공정 안정화를 위한 내플라즈마성 코팅부품의 신뢰성 평가방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
반도체 MEMS 공정에 적용하기 위한 micro blaster 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
유체 시뮬레이션을 이용한 미세 식각 구조물 하부 공정 부산물의 배기 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
반도체 소자의 Critical issue와 미래
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
플라즈마 이온 식각공정에서의 미세 식각 형상에 관한 이론적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
ECR 플라즈마 식각장치의 고진공 시스템제작 및 반도체 식각특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1991 .07
플라즈마 방식으로 증착 된 산화 막의 굴절률 계수와 후속 식각공정의 연관성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
플라즈마에 의한 웨이퍼 가열과 Si 식각 속도의 변화 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
플라즈마트론에 의한 실리콘의 texturing 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
반도체 제조 공정 중 플라즈마 반응기 내에서 입자 오염을 유발하는 미립자들의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
0