Evaluation of c-BN, h-BN films synthesized by r.f unbalanced magnetron sputtering on substrate bias voltage

문장원; 나종주; 이인섭

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 문장원 나종주 이인섭

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제32회 학술대회 초록집

발행연도: 2007.2

수록면: 161 - 161 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

r.f 마그네트론 스퍼터링에서의 BN film의 합성 인자에 대한 고찰

문장원 , 나종주 , 권식철 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료

2007

Evaluation of c-BN, h-BN films synthesized by r.f unbalanced magnetron sputtering on substrate bias voltage

문장원 , 나종주 , 이인섭 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

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문장원

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논문수 5 이용수 206

나종주

소속기관 재료연구소

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 47 이용수 5,233

이인섭

소속기관 동의대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 조선해양공학

논문수 46 이용수 1,498

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