Outgassing rate of TiN and BN thin film coating on stainless steel

이상균; 신용현; 임종연; 홍승수; 정광화; 권오진; 정재인

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이상균 신용현 임종연 홍승수 정광화 권오진 ((주)이노베이션실리콘) 정재인

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제14회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1998.2

수록면: 28 - 29 (2page)

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논문수 10 이용수 196

신용현

소속기관 Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5%

논문수 157 이용수 6,074

임종연

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 104 이용수 4,096

홍승수

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 75 이용수 1,950

정광화

소속기관 한국표준과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 83 이용수 2,049

권오진

소속기관 (주)케이디엘씨

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 재료·에너지공학

논문수 7 이용수 120

정재인

소속기관 포항산업과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 257 이용수 10,753

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018027432

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