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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제2호
발행연도
1999.5
수록면
158 - 164 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

질소 이온주입법에 의한 BN 박막의 계면구조 개선 및 밀착력 향상
변응선 ,  이성훈 ,  이상로 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 1999.05 학술저널

1998

이온주입법에 의한 BN박막의 계면구조 개선 및 밀착력 향상
변응선 ,  이성훈 ,  이구현 외 4명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 1998.11 학술대회자료

초록· 키워드

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ME-ARE법에 의해 합성된 c-BN 박막의 초기성장층 및 이의 계면구조를 개선하고 밀착력을 향상시키고자 후처리로서 질소이온을 주입 (PSII-N^+)하였다. 이온 주입량이 c-BN 박막의 미세구조, 계면구조에 미치는 영향에 대하여 조사하였으며 이와 함께 박막의 경도 및 박리특성에 미치는 효과를 고찰하였다. 질소이온 주입시 약 5.0×10^(15)atoms/㎠ 이상의 주입량에서부터 IR스펙트럼의 변화가 보이기 시작하였으며 5.0×10^(16)atoms/㎠ 이상의 주입량 이상에서부터 급격한 c-BN→ h-BN 상전환이 일어났다. HRTEM관찰 결과, 이온주입에 의해, sp² 결합을 하고 있는 취약한 초기성장층의 결정구조 개선을 확인할 수 있었으며 이온주입된 박막의 경도 및 박리거동을 비교하여 이온주입 및 주입량에 따른 경도 및 박리 상관관계를 설명하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

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