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저자정보
박대광 (조선대학교) 김재열 (조선대학교) 곽남수 (조선대학교) 이건 (조선대학교) 한정철 (화천기공) 유신 (목포대학교) 양동조 (광주테크노파크)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2010 추계학술대회 논문집
발행연도
2010.10
수록면
373 - 378 (6page)

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Recently, Nano-technology is instituted to important element each in many fields. As the reason machine that make machine-part may become factor of generation of electricity of all industry machines. Specially, reflectors, aspheric lens and processing of optical communication medium is needed for ultraprecision processing technology because of this study to aid it. Distance that it is decided to need most in ultraprecision control can separate ordinary machine nano control machine how to make position compensation exactly. This research is suggested for alteration method that can be produced from ordinary machine to ultraprecision machine. Basic-structure of ultraprecision stage is compensated for yawing and lolling errors that is made at transfer. Errors are happened when machine is moving itself of X, Y, Z direction and natural environment vibration. In this way, research that various methods to compensate is studying in a lot of research institutes or school-labs, in present. Usually fast servo tools are taken compensation after finished control. However, in this treatise, when stage of X axis be transported 0mm to 100mm distance, ultraprecision nano stage is compensated with rolling and transfer error Of axis. Ultimate object of this research is to enhance life about spindle of this machine.

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 서보 모델
3. 결론
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