롤 금형 미세패턴 가공을 위한 Fast Tool Servo 설계

이원기; 김호상; 이찬희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이원기 (고등기술연구원) 김호상 (고등기술연구원) 이찬희 (고등기술연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2017.5

수록면: 931 - 931 (1page)

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#Roll Mold #Micro Pattern #Fast Tool Servo #Flexure guide #Piezoelectric Actuator

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