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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국해양공학회 한국해양공학회지 한국해양공학회지 제12권 제4호
발행연도
1998.11
수록면
101 - 108 (8page)

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본 논문에서는 공기압 액튜에이터를 사용한 정밀 위치 시스템을 이용하여 정밀 위치 제어를 수행한다. 본 논문에서 사용된 정밀 위치 제어 시스템은 저 마찰형 서보 테이블과 고속 제어 밸브로 구성되어 진다. 서보 테이블은 공기압 액튜에이터의 위치제어 성능에 악영향을 미치는 구동 피스톤의 씰(seal) 부분의 마찰력을 보상하기 위하여 공기압 베어링 기구를 채택하고 있다. 제어 밸브는 대역폭이 100㎐ 이상인 고속 제어 밸브를 사용했다. 그 결과, 구동 피스톤의 마찰력을 감소시킨 정밀 위치 제어 시스템을 사용함에 의하여 컨트롤러의 설계가 용이하고, 위치 제어 오차가 ±10 ㎛ 이내의 정밀한 위치제어가 가능함을 보였다.
#Accurate positioning (정밀 위치 제어) #Servo table(서보 테이블) #Externally pressurized air bearing(정압 베어링) #Friction(마찰력)

목차

Abstract
1. Introduction
2. Compositon of the servo system
3. Measurement of friction force
4. Positioning results
5. Conclusion
References

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