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논문 기본 정보

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저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.7 No.2
발행연도
2007.6
수록면
120 - 131 (12page)

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A comprehensive short channel analytical model has been proposed for High Electron Mobility Transistor (HEMT) to obtain higher cut-off frequency maintaining the reliability of the device. The model has been proposed to consider generalized doping variation in the directions perpendicular to and along the channel. The effect of field plates and different gate-insulator geometry (Tgate, etc) have been considered by dividing the area between gate and the high band gap semiconductor into different regions along the channel having different insulator and metal combinations of different thicknesses and work function with the possibility that metal is in direct contact with the high band gap semiconductor. The variation obtained by gate-insulator geometry and field plates in the field and channel potential can be produced by varying doping concentration, metal workfunction and gate-stack structures along the channel. The results so obtained for normal device structure have been compared with previous proposed model and numerical method (finite difference method) to prove the validity of the model.
#Gate-insulator geometries #field plate #gate-stack #retrograde doping #metal workfunction #cut-off frequency #breakdown voltage #hot-carrier effect #Field engineering #DIBL #threshold voltage

목차

Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. SHORT-CHANNEL THRESHOLD VOLTAGE MODEL
Ⅲ. CUT-OFF FREQUENCY MODEL
Ⅳ. RESULTS AND DISCUSSION
Ⅴ. CONCLUSIONS
ACKNOWLEDGMENTS
APPENDIX A
REFERENCES

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