SEM용 전자 검출기의 설계 및 제작

김지원; 부경석; Ten Aleksey-Deson; 이상욱; 권기옥; 박기태; 전종업

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저자정보: 김지원 부경석 Ten Aleksey-Deson 이상욱 권기옥 박기태 전종업

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2006.5

수록면: 28 - 33 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

SEM용 전자검출기의 제작 및 성능평가

김지원 , 전종업 , 부경석 대한기계학회 춘추학술대회 2007.05 학술대회자료

2006

SEM용 전자 검출기의 설계 및 제작

김지원 , 부경석 , Ten Aleksey-Deson 외 4명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

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The nature of the signals collected by an SEM(Scanning Electron Microscope) in order to form images are all dependent on the detector used to collect them, and the quality of an acquired image is strongly influenced by detector performance. Therefore, the development of detector with high performance is very important in pulling up the resolution of SEM. This study describes an experiment and an evaluation on a supplementation with existent secondary electron detector, manufacturing a scintillator and conducting an analysis of secondary electron in chamber.

#Electron Detector(전자검출기) #Scanning Electron Microscope(주사전자현미경) #Secondary Electron(이차전자) #Photomultiplier tube(광증배관) #Secondary Electron Detector(이차전자검출기)

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김지원

소속기관 서강대학교

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논문수 43 이용수 1,206

부경석

소속기관 한국생산제조학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 6 이용수 435

Ten Aleksey-Deson

소속기관 한국생산제조학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 1 이용수 93

이상욱

소속기관 피씨엘

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 13 이용수 844

권기옥

소속기관 한국생산제조학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 1 이용수 93

박기태

소속기관 LG전자

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 산업공학

논문수 16 이용수 997

전종업

소속기관 울산대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 52 이용수 4,042

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