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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.17 No.4
발행연도
2008.8
수록면
15 - 21 (7page)

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Secondary electron detectors used in scanning electron microscope accept secondary electrons emitted from the specimen and convert them to an electrical signal that, after amplification, is used to modulate the gray-level intensities on a cathode ray tube, producing an image of the specimen. In order to acquire images with good qualities, as many secondary electrons as possible should be reached to the detector. To realize this it is very important to select an appropriate mounting position and angle of the detector inside the chamber of scanning electron microscope. In this paper, a number of numerical simulations are performed to explore the relationships between detection rates of secondary electrons and the values of some parameters, such as distances between the detector and sample, relative mounting positions of scintillator positioned inside the detector with respect to detector cover, two types of mounting angles of the detector. The relationships between detection rates and applied voltages to corona ring and faraday cage, and energies of secondary electrons are investigated as well.
#Scanning electron microscope(주사전자현미경) #Electron detector(전자검출기) #Secondary electron(2차전자) #Detection rate(검출율)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이차전자의 검출원리
3. 챔버내 이차전자의 거동해석 및 검출기의 최적위치 선정 시뮬레이션
4. 검출율 시뮬레이션 결과의 검증실험
5. 결론
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