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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2005.10
수록면
161 - 165 (5page)

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The electron beam machining provides very high resolution up to nanometer scale, hence the E-beam writing technology is rapidly growing in MEMS and nano-engineering areas. In the optical column of the e-beam writer, there are several lenses condensing and focusing electron beams from electron gun with fringing magnetic fields. The polepieces of these lenses are usually made with high purity iron which is hard to fabricate and very expensive. In this paper, the possibility of using polepiece of object lens composed with pure iron and low carbon steel was examined to reduce cost. The magnetic field at object lens was calculated with finite element method, and practical focusing qualities of SEM pictures were observed comparing for the object lens polepieces with pure iron and two type of composed with low carbon steel.
#Eletron Beam Writer(전자빔 가공기) #Electric Lens(전자 렌즈) #Pure Iron Purity(순철 순도) #Electon Beam Control(전자빔 제어)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 대물렌즈의 이론적 전자장 해석
3. 대물렌즈의 Polepiece 재료와 실험방법
4. 대물레즈의 Polepiece 순철재료 복합도에 따른 화상변화
5. 결론
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