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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.11
수록면
285 - 286 (2page)

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#Electron beam #lithography #micro column #electric lens #electric field

목차

1. 서론
2. 전자빔 칼럼의 구조
3. 렌즈의 해석 및 전산모사
4. 칼럼 내 전자빔 거동의 해석
5. 칼럼 내 전자빔 전산모사
6. 결론
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