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소형 전자빔 칼럼내 전자빔 거동 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .11
소형전자빔용 정전렌즈의 전기적 특성 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2010 .04
전자빔 가공기용 자기 렌즈의 자기장 제어구조 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr+6) 의 제거
대한환경공학회 학술발표논문집
1999 .04
주사 전자 현미경에서 영상 획득에 필요한 구성 요소 구현
한국레이저가공학회지
2009 .01
주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
유한요소법을 사용한 주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석에 관한 연구
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2007 .09
전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
유한요소해석과 광선추적을 연계한 주사전자 현미경 대물렌즈의 설계 및 해석
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .11
다중빔 리소그래피를 위한 초소형 컬럼의 전자빔 광학 해석에 관한 연구
반도체및디스플레이장비학회지
2009 .01
마이크로 칼럼의 전자 방출원 위치 오차의 영향
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성
한국생산제조학회지
2008 .10
저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2011 .04
고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
Monte Carlo 수치해석법을 이용한 저 에너지 초소형 마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈의 모양에 따른 전자빔 특성 연구
한국산학기술학회 논문지
2008 .02
다중칼럼 방식의 고효율 전자빔 시스템 및 공정기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
다중칼럼 방식의 고효율 전자빔 응용 시스템기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2008 .06
고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속 시스템 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .10
Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
2004 .02
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