지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.6 No.4
- 발행연도
- 2006.12
- 수록면
- 293 - 298 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Thermopiezoelectric method, using poly silicon heater and a piezoelectric sensor, was proposed for writing and reading in a probe based data storage system. Resistively heated tip writes data bits while scanning over a polymer media and piezoelectric sensor reads data bits from the selfgenerated charges induced by the deflection of the cantilever. 34 x 34 array of thermopiezoelectric nitride cantilevers were fabricated by a single step wafer level transfer method. We analyzed the noise level of the charge amplifier and measured the noise signal. With the sensor and the charge amplifier 20mn of deflection could be detected at a frequency of 10㎑. Reading signal was obtained from the cantilever array and the sensitivity was calculated.
목차
Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. THERMOPIEZOELECTRIC READ/WRITE
Ⅲ. WAFER LEVEL TRANSFER OF CANTILEVERS
Ⅳ. CONCLUSIONS
REFERENCES
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Thermopiezoelectric cantilever for probe-based data storage system
대한전자공학회 ISOCC
2006 .10
-
Silicon Nitride Cantilever Array Integrated with Si Heaters and Piezoelectric Sensors for Probe-based Data Storage
정보저장시스템학회논문집
2005 .01
-
원자간력 현미경의 탐침외팔보의 정량적 특성평가를 위한 계측 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2005 .11
-
Electromagnetic Micro x-y Stage for Probe-Based Data Storage
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2001 .03
-
Thermo-piezoelectric $Si_3N_4$ cantilever array on a CMOS circuit for probe-based data storage using wafer-level transfer method
정보저장시스템학회논문집
2006 .01
-
비접촉 원자간력 현미경의 탐침 캔틸레버 진동 특성 및 측정 성능 평가
한국소음진동공학회논문집
2004 .06
-
Thermo-piezoelectric $Si_3N_4$ cantilever array on n CMOS circuit for probe-based data storage using wafer-level transfer method
정보저장시스템학회 추계학술대회논문집
2005 .01
-
Probe-based Storage Device(PSD)용 정전형 2축 MEMS 스테이지의 설계 및 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .11
-
Silicon Nitride Cantilever Arrays Integrated with Si Heater and Piezoelectric Sensors for SPM Data Storage Applications
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2005 .03
-
SOI 기판을 이용한 Thermal Probe 어레이 제작 및 특성 평가
전기전자재료학회논문지
2005 .01
-
MEMS 공정을 이용한 32 x 32 실리콘 캔틸레버어레이 제작 및 특성 평가
전기전자재료학회논문지
2006 .01
-
Thermo-Piezoelectric Read/Write Mechanisms for Probe-Based Data Storage
정보저장시스템학회논문집
2007 .01
-
가동 브래킷의 개선 방안
한국철도학회 학술발표대회논문집
2005 .11
-
초소형 고밀도 정보저장장치를 위한 고종횡비의 팁을 갖는 정전 구동형 폴리 실리콘 프로브 어레이 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .06
-
Performance Evaluation of multimedia storage based on virtual Storage system
한국멀티미디어학회 국제학술대회
2006 .07
-
Simple Near-Field Optical Recording Using Bent Cantilever Probes
[ETRI] ETRI Journal
2002 .06
-
약물 심장 독성 평가의 신뢰성 향상을 위한 Micro Cantilever Array 활용
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
MEMS cantilever 구조를 이용한 주파수 가변 메타물질 흡수체의 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .10
-
MEMS 기반의 스마트 4단자 탐침 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-569-017614670