대향타겟 스퍼터링법으로 증착한 AZO 투명전도성 필름

장혜영; 최인규; 김상호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 장혜영 (한국기술교육대학교) 최인규 (한국기술교육대학교) 김상호 (한국기술교육대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015년도 한국표면공학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2015.11

수록면: 294 - 294 (1page)

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