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Low power bridge type micro gas sensors were fabricated by micro machining technology with TMAH (Tetra Methyl
Ammonium Hydroxide) solution. The sensing devices with different heater materials such as metal and poly-silicon were
obtained using CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) compatible process. The tellurium films as a sensing
layer were deposited on the micro machined substrate using shadow silicon mask. The low power micro gas sensors
showed high sensitivity to NO with high speed. The pure tellurium film used micro gas sensor showed good sensitivity
than transition metal (Pt, Ti) used tellurium film.
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참고문헌 (7)
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C.C.Liu / 1992 / Development of chemical sensors using microfabrication and micromachining techniques / Proc. of the 4th International Meeting on Chemical Sensors : 1 ~ 6
Euisik Yoon / 1992 / An integrated mass flow sensor with on-chip interface circuitry / IEEE Transaction on Electron Devices 39 (6) : 1376 ~ 1386
M. Parameswaran (et al) / 1991 / Micromachined thermal radiation emitter from a commercial CMOS process / IEEE Electron Device Letters 12 (2) : 57 ~ 59
R. Lenggenhager (et al) / 1993 / Thermoelectric infrared sensors in CMOS technology / Sensors and Actua-tors A 37-38 : 216 ~ 220
신한재 / 2007 / Te를 이용한 상온 동작형 NO2 센서 제작 및 감응 특성 / 센서학회지 16 (2) : 91 ~ 96
Euisik Yoon / 1992 / An integrated mass flow sensor with on-chip interface circuitry / IEEE Transaction on Electron Devices 39 (6) : 1376 ~ 1386
M. Parameswaran (et al) / 1991 / Micromachined thermal radiation emitter from a commercial CMOS process / IEEE Electron Device Letters 12 (2) : 57 ~ 59
R. Lenggenhager (et al) / 1993 / Thermoelectric infrared sensors in CMOS technology / Sensors and Actua-tors A 37-38 : 216 ~ 220
신한재 / 2007 / Te를 이용한 상온 동작형 NO2 센서 제작 및 감응 특성 / 센서학회지 16 (2) : 91 ~ 96
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