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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1993.11
- 수록면
- 101 - 119 (19page)
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The important performance parameters of wafer surface scanners include their sizing accuracy, counting efficiency, lower detection limit and count repeatability to ideal and real-world particles.
Due to the complex interactions between a polystyrene latex(PSL) sphere and wafer surface, the particle size response shows oscillating characteristics for the wafer surface scanners with forward scattered light collection geometry. The size response to real-world particles shows large discrepancies compared with PSL spheres.
Counting efficiency is a strong function of the refractive index of particle. Also, the lower detection limits, which is defined as the particle size with 90% or 50% counting efficiency, to the real-world particles show large uncertainties with manufacturers values using PSL sphere.
Detailed data analysis on the count repeatability shows that the residual standard deviation has a quasi-Poisson distribution characteristics and can be used a quantitative measure of wafer surface scanners.
Due to the complex interactions between a polystyrene latex(PSL) sphere and wafer surface, the particle size response shows oscillating characteristics for the wafer surface scanners with forward scattered light collection geometry. The size response to real-world particles shows large discrepancies compared with PSL spheres.
Counting efficiency is a strong function of the refractive index of particle. Also, the lower detection limits, which is defined as the particle size with 90% or 50% counting efficiency, to the real-world particles show large uncertainties with manufacturers values using PSL sphere.
Detailed data analysis on the count repeatability shows that the residual standard deviation has a quasi-Poisson distribution characteristics and can be used a quantitative measure of wafer surface scanners.
목차
WAFER SURFACE SCANNER
THEORETICAL STUDY
COUNTING EFFICIENCY
COUNT REPEATABILITY
SUMMARY
SOURCES OF THE PRESENTATION MATERIAL
REFERENCES
참고문헌 (0)
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