비접촉식 그리퍼 적용을 위한 공기압 파지식 헤드 내부 관통로 고찰

김준현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김준현 (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.21 No.4

발행연도: 2012.8

수록면: 563 - 569 (7page)

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In the semiconductor and display device production processes, the handling of sensitive objects needs new carrying technology. Floating carrying motion is a practical alternative solution for non-contact handling of parts and substrates. This paper presents a study of through paths inside the air pressure pick-up head to generate the floating motion. The air motion by conceptual designed paths inside the head gradually develops positive pressure and vacuum between narrow objects. Positive pressure occurs through the head tip before discharging outside of the head. Negative pressure is developed by evacuating the inside head bottom as result of the radial flow connecting the vertical through-holes. The numerical analysis was done to figure out the stable levitation caused by the two acting forces between surfaces. In comparing with the standard case that the levitation gap gets 0.7-0.9 mm, it confirms the suggested head characteristics to show floating capacity in accordance with the head size, number of through-hole, and locations of through-hole in succession of conceptual design for a prototype.

#Air levitation(공기 부상) #Air pressure pick-up head(공압 파지식 헤드) #Non-contacting(비접촉) #Robot hand(로봇 핸드) #Through-hole(관통홀) #Wafer gripper(웨이퍼 그리퍼)

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1. [학술대회논문] - Fearing, R. S / 1995 / Survey of Stacking Effects for Micro Parts Handling / Proceedings of the IEEE/ RSJ Conference on Intelligent Robots and Systems 2 : 212 ~ 217

2. [학술지(정기간행물)] - Guldi, R. L / 1999 / Strategy and Metrics for Wafer Handling Automation in Legacy Semiconductor Fab / IEEE Transactions on Semiconductor 12 (1) : 102 ~ 108

3. [학술지(정기간행물)] - Vandaele, V / 2005 / Non-contact Handling in Microassembly: Acoustical Levitation / Precision Engineering 29 (4) : 491 ~ 505

4. [학술지(정기간행물)] - Davies, S / 2008 / An End Effector based on the Bernoulli Principle for Handling Sliced Fruit and Vegetables / Robotics and Computer-Integrated Manufacturing 24 (2) : 249 ~ 257

5. [학술지(정기간행물)] - Vandaele, V / 2005 / Non-contact Handling in Microassembly: Acoustical Levitation / Precision Engineering 29 (4) : 491 ~ 505

이 논문의 저자 정보

김준현

소속기관 Seoul National University of Science & Technology

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 산업공학

논문수 83 이용수 8,083

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