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200℃에서 PECVD로 증착한 실리콘질화막의 특징
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
PECVD 를 이용한 비정질 실리콘 박막의 Adhesion 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
PECVD 무선주파수 변화에 따른 전면 패시베이션 특성비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
질소 플라즈마를 이용한 실리콘 질화막의 제작 및 실리콘 질화막과 실리콘구조의 계면분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
PECVD를 이용한 실리콘 나노입자의 제조 및 포집
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
마이크로 구동 요소부품의 PECVD를 이용한 플라즈마 질화 공정의 기계적특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
PECVD로 제작한 실리콘 질화막 및 산화막의 발광 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Effects of chemical bondings on hydrogen passivation properties of PECVD SiNx in silicon solar cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
PECVD법에 의한 다성분 Fe - O계 박막 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
C₄F8과 Si₂H6 / He을 전구체로 사용하여 PECVD로 성장시킨 비정질 불화탄소막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
PECVD로 증착한 비정질 실리콘 TFT소자의 게이트 두께가 a-SiN:H 절연막의 stress에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
비정질 실리콘 박막의 2차 전자 방출계수 γ 의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
결정질 실리콘 태양전지에서 RF-PECVD를 이용한 실리콘 질화막의 패시베이션 향상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
비정질실리콘 MIS 캐패시터의 C - V 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
타원편광분석법을 이용한 비정질 실리콘의 결정화 과정 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
He-SiH4혼합가스를 이용하여 RF-PECVD에 의해 증착된 수소화된 나노결정질 실리콘 박막의 재료적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
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