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SiH₂Cl₂와 NH₃를 이용하여 원자층 증착법으로 형성된 실리콘 질화막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
원자층 증착법을 이용한 산화 알루미늄과 산화 타이타늄의 다층 보호막 개발 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Thermal-Plasma 방식 적용 Al2O3 산화막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
다양한 섬유 위에서 원자층 증착법으로 증착된 백금의 표면 반응 메커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
원자층 증착법에 의한 구리 박막 성장에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
원자층 증착법을 이용한 ZnO 트랜지스터
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
실리콘 (001) 표면의 초기 산화 과정에 대한 원자 구조와 이론적 scanning tunneling microscopy 이미지 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Ta(OC₂H5)5와 NH₃를 이용한 탄탈륨 산화막의 원자층 단위 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
금속산화물 원자층 증착법을 이용한 전자섬유 색 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
원자층증착법으로 성장시킨 알루미늄 실리케이트 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .08
유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 Al₂O₃/Alucone 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
원자층 증착법에 의해 성장된 산화아연 박막의 결정 분극 제어에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
분자동역학법을 사용한 실리콘이 첨가된 ta-C의 원자구조변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
원자층증착법을 이용한 Y2O3 박막 형성 및 저항 스위칭 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
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