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저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제14회 학술발표회논문개요집
발행연도
1998.2
수록면
75 - 76 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

Ta(OC₂H5)5와 NH₃를 이용한 탄탈륨 산화막의 원자층 단위 증착 및 특성에 관한 연구
송현정 ,  심규찬 ,  이춘수 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1998.02 학술대회자료
$\textrm{Ta}(\textrm{OC}_{2}\textrm{H}_{5})_{5}$와 $\textrm{NH}_3$를 이용한 산화탄탈륨 막의 원자층 증착 및 특성
송현정 ,  심규찬 ,  이춘수 외 1명 한국재료학회지 1998.01 학술저널

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목차

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

5. 참고문헌

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