스퍼터링를 이용한 주석 박막의 형상제어

양지훈; 정재인

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양지훈 (포항산업과학연구원) 정재인 (포항산업과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 137 - 137 (1page)

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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소속기관 포항산업과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

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