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합금화된 단일타겟을 마그네트론 스퍼터를 이용하여 합성된 나노복합구조 Al-Ti-X-N (X=Si,Cu,Cr) 코팅의 기계적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
마그네트론 스퍼터링 타겟 표면의 온도 변화에 대한 수치 모델과 측정 비교 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치에 의한 Ti 나노금속 함량에 따른 탄소박막의 물리적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
r.f 마그네트론 스퍼터링에서의 BN film의 합성 인자에 대한 고찰
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2008 .08
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 BST 박막의 구조 및 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
반응성 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 AlN 압전박막 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
듀얼 마그네트론 스퍼터링를 이용한 ITO 박막 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
차세대 나노 박막 다원계 모물질 설계 및 저마찰 코팅층 형성 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
듀얼 마그네트론 스퍼터링 공정을 고품위 투명전도성 박막 형성 및 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
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2004 .08
마그네트론 스퍼터링의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
2D PIC 시뮬레이션을 이용한 마그네트론 스퍼터링 증착 공정의 이온 특성 변화 분석 및 증착 모델링
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2018 .08
Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
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2004 .02
폴리머 애자의 자기세정 응용을 위한 듀얼 마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 증착되어진 TiOx 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
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