SF6플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 식각공정에서의 미세 식각형성 특성에 관한 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1995 .03

RIE Damage Remove Etching Process for Solar Cell Surface Texturing Using the TMAH Etching

오정화 ,  공대영 ,  조준환 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

RIE에서 C₃F₆ 가스를 이용한 Si₃N₄ 식각공정 개발

전성찬 ,  공대영 ,  정동건 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Enhanced Light trapping Approaches utilizing ICP-RIE dry etching for high efficiency P-I-N Thin-Film Silicon Solar Cells

김명준 ,  김정수 ,  신동기 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

플라즈마 식각 공정에서의 미세구조 식각에 관한 이론적 연구

이창덕 ,  박상규

Applied Science and Convergence Technology

1994 .03

0.25㎛ 이하의 Design Rule을 갖는 반도체소자에서의 Contact Etching

강창진

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

펄스 플라즈마를 이용한 라디칼 제어에 의한 실리콘 건식 식각시 RIE lag 개선에 관한 연구

박완재 ,  황기웅

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Honeycomb structure using ICP-RIE dry etching for improved light management in HIT solar cell

Sangho KIM ,  Jinjoo PARK ,  Duy Phong PHAM 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Reactive Ion Etching of NiFe Film with Organic Resist Mask and Metal Mask by Inductively Coupled Plasma

Tomomi Kanazawa ,  Shin-ichi Motoyama ,  Takayuki Wakayama 외 2명

Journal of Magnetics

2007 .06

RIE 표면 텍스쳐링 모양에 따른 결정질 실리콘 태양전지의 영향

박인규 ,  윤명수 ,  현덕환 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

2010 .07

Effects of Bias Frequency on RIE Rag in Electron Cyclotron Resonance Plasma Etching System

도현호 ,  연충규 ,  황기웅

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

A study on hydrophobicity of polymer micro-nano patterns generated by reactive ion etching(RIE) with nanoparticle mask

이초연 ,  박형주 ,  정용호 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

GPU Based Feature Profile Simulation for Deep Contact Hole Etching in Fluorocarbon Plasma

Yeon-Ho Im ,  Won-Seok Chang ,  Kwang-Sung Choi 외 10명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

RIE/WET Texturing 구조의 다결정 태양전지의 특성평가

서일원 ,  손찬희 ,  윤명수 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

RIE 에 의한 Pt 박막의 건식식각 공정에 관한 연구

양정승 ,  윤의준

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

A study on the ion beam etching characteristics in the high aspect ratio contact

Ilhyeong LEE ,  Jongkyu KIM ,  Jongsoon PARK 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

ICP-RIE를 이용한 SiO₂ 나노패턴 제조 공정 연구

권민성 ,  정다운 ,  김춘근 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Satistical Analysis of SiO₂ Contact Hole Etching in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etching Reactor

Chunli Liu ,  B. Sh ,  aune

Journal of Magnetics

2010 .09

Ar/C₄F₆/O₂Pulsedtriplefrequency의 식각 메커니즘 분석

김수강 ,  양경채 ,  신예지 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02