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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박인규 (광운대학교) 윤명수 (광운대학교) 현덕환 (주성엔지니어링) 진법종 (주성엔지니어링) 최종용 (주성엔지니어링) 김정식 (주성엔지니어링) 강형동 (주성엔지니어링) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제19권 제4호
발행연도
2010.7
수록면
314 - 318 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2010

RIE 표면 텍스쳐링 모양에 따른 결정질 실리콘 태양전지의 영향
박인규 ,  윤명수 ,  현덕환 외 5명 Applied Science and Convergence Technology 2010.07 학술저널
결정질 실리콘 태양전지 표면 그리드에 의한 반사율과 양자효율에 미치는 영향
박인규 ,  손찬희 ,  윤명수 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

2009

결정질 태양전지 표면 그리드가 양자효율에 미치는 영향
박인규 ,  윤명수 ,  손찬희 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

초록· 키워드

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다결정 실리콘 웨이퍼 표면에 대면적 reactive ion etching (RIE) 장비로 표면 텍스쳐를 형성한 뒤 태양전지를 제작하였다. 웨이퍼 표면에 텍스쳐를 형성하는 것은 광학적 손실을 줄이기 위해 일반적으로 사용되는 방법으로 alkaline etching이 사용된다. 그러나 다결정 실리콘 태양전지의 경우 재료의 결정 방향에 따라 식각되는 alkaline etching은 텍스쳐링의 모양을 제어할 수 없어 효과적이지 못하다. 이와 달리 플라즈마 식각방법을 사용하면 표면 텍스쳐의 모양을 효과적으로 제어하여 조금 더 낮은 반사율을 얻을 수 있다. 하지만 텍스쳐 모양 조절로 얻은 낮은 반사율이 항상 높은 변환효율을 얻을 수 있는 것은 아니다. 본 연구에서는 대면적 RIE 공정 조건별로 얻은 태양전지 표면 텍스쳐의 모양에 따라 각각의 반사율과 양자효율 및 변환효율이 미치는 영향을 살펴보았다.
#RIE #양자효율 #텍스쳐링 #표면 반사율 #Quantum efficiency #Texturing #Reflectance

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
1. [학술대회논문] - J. S. Kim / 2007 / / 22th EUPVSE : 1499 ~ 1502 google schola 2. [학술대회논문] - D. S. Ruby / 2000 / / 28th IEEE : 75 ~ 78 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - E. Yablonovitch / 1982 / / J. Opt. Soc. Am. 72 : 847 ~ 899 google schola 4. [학술대회논문] - D. S. Ruby / 2000 / / 28th PVSC : 75 ~ 78 google schola 5. [학술대회논문] - J. S. Kim / 2008 / / 23th EUPVSEC : 1499 ~ 1502 google schola

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